2020 3.16
真空チャンバーの製作
フランジは全てICFフランジ (下面のICFフランジは回転フランジ)
ポートが45°の位置で3ヶ所
表面処理:バフ研磨+電解研磨品
Heリーク検査を社内で実施して納品