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ウエハー搬送用ハンド

ウエハー搬送用ハンド

純チタン(2種)平面度0.08

旋盤・MCによる複合加工

旋盤・MCによる複合加工

A5052

MCによる削り出し加工

MCによる削り出し加工

A5052

ウエハートレー

ウエハートレー

平面度0.05(アルマイト処理品)A5052

シャワーヘッド(表)

シャワーヘッド(表)

Φ0.5(7800ヶ所)穴加工 A2017

シャワーヘッド(裏)

シャワーヘッド(裏)

Φ0.5(7800ヶ所)穴加工 A2017

旋盤・MCによる複合加工

旋盤・MCによる複合加工

SUS316L

旋盤・MCによる複合加工

旋盤・MCによる複合加工

SUS316L

TIG溶接によるビートサンプル

TIG溶接によるビートサンプル

A5052

水冷プレート ロー付け品(金メッキ処理品)

水冷プレート

ロー付け品(金メッキ処理品)C1020

真空チャンバー

真空チャンバー

(1×10-11pa・m3/sec)SUS304

MCによる削り出し加工

MCによる削り出し加工

SUS316

旋盤・MCによる複合加工

旋盤・MCによる複合加工

SUS304

真空チャンバー

真空チャンバー

(1×10-11pa・m3/sec)SUS304

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